| Unsur pelayanan | Triwulan I | Triwulan II | Triwulan III |
| PERSYARATAN | 90.62 | 94.44 | 95.71 |
| SISTEM, MEKANISME DAN PROSEDUR | 91.25 | 92.46 | 92.50 |
| WAKTU PENYELESAIAN | 90.62 | 91.46 | 93.21 |
| BIAYA/TARIF | 100 | 100 | 100 |
| PRODUK SPESIFIKASI JENIS PELAYANAN | 91.25 | 92.46 | 93.93 |
| KOMPETENSI PELAKSANA | 91.25 | 94.44 | 94.29 |
| PERILAKU PELAKSANA | 93.12 | 96.43 | 94.29 |
| PENANGANAN PENGADUAN, SARAN DAN MASUKAN | 91.87 | 93.25 | 92.14 |
| SARANA DAN PRASARANA | 90.62 | 95.63 | 93.93 |
Hasil Survei Pelayanan secara online pada website, media sosial Kanwil Kemenag DIY
